鉅大鋰電 | 點擊量:0次 | 2019年08月07日
太陽能電池擴散設備簡介
太陽能電池擴散設備,包括擴散爐和機臺排風端。太陽能電池擴散設備的運轉(zhuǎn)流程是,擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風端排出,機臺排風端安裝排風壓力控制閥和相應的排風壓力控制器。抽氣排風壓力穩(wěn)定后,磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后,方塊電阻也隨之穩(wěn)定,可以提升最終太陽能電池的效率5%。 擴散爐是太陽能電池片形成P-N結(jié)的核心組件,擴散爐的質(zhì)量直接影響到電池片的性能。現(xiàn)在太陽能廠家流行的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟著陸擴散,開管擴散的產(chǎn)量比較低,偏磷酸的用量比較大;閉管擴散工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾;軟著陸擴散是根據(jù)現(xiàn)有6-8英寸集成電路擴散設備,而提出的新概念;軟著陸擴散工藝質(zhì)量完全受控;工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放;更加安環(huán)保。
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